日立EA8000X射线荧光光谱仪可快速检测出锂离子可充电电池和燃料电池的电极中可能掺杂的20µm大小的微小金属异物并进行元素分析。

对于管理基板整面上的有害物质，以及针对微小部位的测定等以前的装置对应比较困难的要求，日立EA6000VXX射线荧光光谱仪都能做到。

日立EA1200VXX射线荧光光谱仪是一台覆盖了从RoHS/ELV测量筛选到高度分析的X射线荧光分析仪。

日立EA1000VXX射线荧光光谱仪是对应环境限制物质管理、可快速且简单测量有害物质的X射线荧光分析仪。

日立EA1000AIIIX射线荧光光谱仪通过将可选项的精度管理型软件进一步升级,并使之成为标准配备，实现了低价格化。